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引言$ U6 O) o/ I* t* {# K+ S8 z
半導體行業(yè)不斷發(fā)展,推動技術(shù)邊界,以滿足對更快、更高效、更強大電子設(shè)備的持續(xù)增長需求。這一領(lǐng)域的關(guān)鍵創(chuàng)新之一是先進半導體封裝。本文簡介2.5D和3D封裝技術(shù)的發(fā)展、優(yōu)勢和挑戰(zhàn),以及在各種應用中的影響[1]。, T1 P& R8 F5 C: q; I. H
0 ?2 X' Q2 P( k2 n半導體封裝的演變- R- h+ ]3 N1 ^6 f% e8 h, c0 t* h4 D, \
半導體封裝技術(shù)已從最初的1D PCB水平發(fā)展到今天的晶圓級3D混合鍵合封裝。這一進步實現(xiàn)了單位數(shù)微米的互連間距,能夠以高能效達到超過1000 GB/s的帶寬。3 M$ l# m- L: m3 h( J% ^
% M2 H0 s, O8 p四個關(guān)鍵參數(shù)塑造了先進半導體封裝的發(fā)展:功率:通過創(chuàng)新封裝技術(shù)提高功率效率。性能:通過縮短互連間距增加輸入/輸出(I/O)點數(shù),提高帶寬并減少通信長度。面積:高性能計算芯片需要更大的封裝面積,而3D集成則需要更小的z軸尺寸。成本:通過使用替代的更經(jīng)濟材料或提高制造設(shè)備效率,持續(xù)降低封裝成本。/ U& F& A m1 }% X
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2 R2 S$ r1 g) _. q2.5D封裝技術(shù)! J$ Z: t% z3 |5 O6 n3 }6 U
2.5D封裝技術(shù)涉及使用中間層連接多個芯片。根據(jù)中間層材料的選擇,2.5D封裝分為三種主要類型:
# B. f& h3 O, N) Q- P. H/ W& M1. 硅基中間層:
. t+ S f4 n% j# u9 q兩種選擇:硅中間層(全被動硅晶圓)和硅橋(扇出式模塑化合物中的局部硅橋或帶腔基板)。優(yōu)勢:最精細的布線特征,適用于高性能計算集成。挑戰(zhàn):材料和制造成本較高,封裝面積限制。未來趨勢:增加使用局部硅橋以解決面積限制和成本問題。
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2. 有機基中間層:
' D! F ~: [& d( E使用扇出式模塑化合物而非有機基板。優(yōu)勢:介電常數(shù)低于硅(較低的RC延遲),更具成本效益。挑戰(zhàn):難以達到與硅基封裝相同水平的互連特征縮減。
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3. 玻璃基中間層:% @, [$ {) x1 K1 _
優(yōu)勢:可調(diào)熱膨脹系數(shù)(CTE),高尺寸穩(wěn)定性,光滑平整的表面。布線特征有潛力與硅媲美。挑戰(zhàn):生態(tài)系統(tǒng)不成熟,目前缺乏大規(guī)模量產(chǎn)能力。
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3D封裝技術(shù)
" L1 `# X4 D/ X7 N3D封裝技術(shù)專注于芯片的垂直堆疊,主要有兩種方法:6 b4 J: Z8 K% Q1 i: H7 r
1. 微凸點技術(shù):1 `# d7 L/ b! E m$ H
基于熱壓焊接(TCB)工藝。技術(shù)成熟,應用于多種產(chǎn)品。持續(xù)努力縮小凸點間距。挑戰(zhàn):較小焊球中金屬間化合物(IMCs)形成增加,潛在的焊球橋接問題,與銅相比電阻率較高。1 @' x' b4 E* k% S# ~
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2. 混合鍵合:" `0 ~, T. m7 p% I b7 J6 j' a+ a
通過結(jié)合介電材料(SiO2)和嵌入金屬(Cu)創(chuàng)建永久互連。實現(xiàn)低于10微米(通常為個位數(shù)μm)的間距。優(yōu)勢:擴展I/O,增加帶寬,增強3D垂直堆疊,提高功率效率,減少寄生效應和熱阻。挑戰(zhàn):制造復雜性和較高成本。6 c, O9 C- a, Z. A3 O9 D+ C4 P( x# W
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" }1 J/ l+ T. ~應用和市場影響
4 T2 s, F# T: [5 t4 {5 f" _6 p先進半導體封裝技術(shù)在多個關(guān)鍵市場中找到應用:5 E+ f: p. S: A! d$ A8 b# E: w
1. 人工智能和數(shù)據(jù)中心:
; V' A' Q& D' y$ S4 S1 }5 P0 l2 o推動對高性能計算解決方案的需求。需要能夠處理增加的功率和性能需求的封裝技術(shù)。
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B: F1 _: K" z) _6 m9 U3 r0 S2. 5G網(wǎng)絡(luò):. A, A+ z: Q/ |: l
先進封裝對5G無線電和網(wǎng)絡(luò)基礎(chǔ)設(shè)施至關(guān)重要。實現(xiàn)更高頻率和增加帶寬。
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/ ]; p4 \% g; S: f- f1 _, D3. 自動駕駛汽車:
# |! o1 S f% ?需要先進封裝用于傳感器、處理器和通信系統(tǒng)。強調(diào)在惡劣環(huán)境中的可靠性和性能。
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4. 消費電子:$ D) Y! Z3 H3 U9 z3 A- l) H0 b
智能手機、平板電腦、智能手表和AR/VR設(shè)備受益于更小的尺寸和更高的性能。先進封裝實現(xiàn)在緊湊設(shè)計中集成多種功能。' U, M* R3 Q: J C* U
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未來展望
6 u M" L4 u. t$ B7 G) D先進半導體封裝行業(yè)將迎來顯著增長和創(chuàng)新。需要關(guān)注的主要趨勢包括:, I/ b2 y }" W
互連間距持續(xù)縮小,特別是混合鍵合技術(shù)。開發(fā)新材料和工藝以解決熱管理和功率效率挑戰(zhàn)。增加采用基于chiplet的設(shè)計和異構(gòu)集成。玻璃基中間層技術(shù)的成熟和潛在的廣泛采用。制造工藝的進步,以降低成本和提高良率。1 j) `# T( U+ j' v6 c r# L
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隨著對更強大、更高效電子設(shè)備需求的持續(xù)增長,先進半導體封裝將在實現(xiàn)下一代技術(shù)方面發(fā)揮關(guān)鍵作用。從人工智能和5G到自動駕駛汽車及更多領(lǐng)域,這些封裝創(chuàng)新將成為日益互聯(lián)和智能世界的核心。% r) E$ H5 i$ n# Z
: q$ O0 H7 E! J3 `4 f( f9 q參考文獻
" ?1 X: `3 `3 ]" k1 B* [" \[1] IDTechEx, "Advanced Semiconductor Packaging 2024-2034: Forecasts, Technologies, Applications," IDTechEx, Jan. 11, 2024. [Online]. Available: https://www.azonano.com/news.aspx?newsID=40634.& @2 p* n4 L: P$ @7 Y6 g, o
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9 k k. A- r# [深圳逍遙科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家專注于半導體芯片設(shè)計自動化(EDA)的高科技軟件公司。我們自主開發(fā)特色工藝芯片設(shè)計和仿真軟件,提供成熟的設(shè)計解決方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分別針對光電芯片、微機電系統(tǒng)、超透鏡的設(shè)計與仿真。我們提供特色工藝的半導體芯片集成電路版圖、IP和PDK工程服務,廣泛服務于光通訊、光計算、光量子通信和微納光子器件領(lǐng)域的頭部客戶。逍遙科技與國內(nèi)外晶圓代工廠及硅光/MEMS中試線合作,推動特色工藝半導體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展,致力于為客戶提供前沿技術(shù)與服務。6 E c% n& O& q% I/ _9 t$ c" W
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